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本产品是一款超精气浮电主轴，最高转速为100000rpm。本主轴可应用于晶圆倒角。
1、 长寿命：采用气体静压轴承，非接触，无磨损，长寿命。
2、 高精度：由于气体静压轴承的均化效应及高达0.2μm的零件加工精度，因此有比滚珠轴承电主轴更高的静态和动态精度。
3、 高刚性、低振动：轴承经过精密计算及独有的仿真分析软件验证，具有低振动、高刚性、高承载能力的优势。
4、 高配置：配备高性能交流感应电机，大扭矩输出，适用于多种加工应用。
5、 高可靠性：采用双螺旋冷却结构，主轴保持恒温加工，各项性能稳定可靠。
| 主轴型号Spindle Model | DQFX-062100/1.2A1-WM | |
| 轴承类型Bearing Type | 气浮Air Bearing | |
| 最高转速Maximum Speed(rpm) | 100,000 | |
| 最高电压Maximum Voltage(V) | 220 | |
| 额定功率(S6)Maximum Power(kW) | 1.2 | |
| 额定扭矩(S6)Maximum Torque(Nm) | 0.11 | |
| 换刀方式Tool Changing | 手动 | |
| 冷却形式及介质 Cooling method and Medium | 水冷 | |
| 重量Weight(kg) | 5.1 | |
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