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晶圆超精密检测空气静压转台 ，定位精度可达±2.5"，重复定位达±1"。采用自主研究的节流方式，转台整体全静压支承，具有较高的刚性和稳定性，轴向刚度高达2500N/μm，最大承重达2T。可应用于晶圆研磨等领域。
高精度
我司具备轴芯、轴承等零部件的超精密加工能力，加上液体油膜固有的“误差均化效应”使得液体动静压转台具有超高回转精度（小于0.1μm）。搭配光栅编码器，定位精度可达±2.5"，重复定位达±1"。
高刚性
采用自主研究的节流方式，转台整体全静压支承，具有较高的刚性和稳定性，轴向刚度高达2500N/μm，最大承重达2T。
高性能
配置三相交流永磁同步电机，功率1.3kW，最高转速142rpm，动态响应快。采用气动钳夹，增强了锁紧力矩和结构稳定性，确保了在生产过程中的高品质和可靠性。
高稳定性
采用液静压轴承，轴芯油膜悬浮实现无磨损运行，延长设备的使用寿命，油膜吸振减少转台振动，赋予了设备高刚性和加工稳定性等突出特点，显著提升了产品的加工能力。
| 参数项 | 参数值 |
| 盘面直径 | Φ300mm |
| 主轴油牌号 | ISO VG10 |
| 供油压力 | 2.0-3.0MPa |
| 轴向静刚度 | ≥2500N/μm |
| 轴端径向刚度 | ≥400N/μm |
| 前端径向跳动 | ≤0.001mm |
| 端面跳动 | ≤0.001mm |
| 回转精度 | ≤0.0001mm |
| 驱动形式 | 内置式电机驱动 |
| 旋转方向 | 双向旋转 |
| 最高转速 | 60rpm |
| 最大频率 | 52Hz |
| 电机类型 | 同步电机 |
| 额定电压 | 380V |
| 输出功率 S1 100% | 1.3kW |
| 输出扭矩 S1 100% | 87N.m |
| 额定电流 S1 100% | 4A |
| 电机冷却方式 | 水冷 (推荐) |
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