产品中心
主要应用于半导体加工行业，适用于硅片制造和晶圆加工倒角工艺。
长寿命
半导体电主轴使用气体静压轴承，零污染，低温升，无磨损，长寿命。
高可靠性
优化主轴防水、防尘性能，电机防护等级IP67，采用优质碳刷材料，连续工作时间长达6525小时。
| 参数项 | 参数值 |
| 最高转速 | 160000 rpm |
| 刀柄型号 | B049TL3.0 夹头 |
| 轴承类型 | 气浮轴承 |
| 最大频率 | 2667 Hz |
| 电机类型 | 异步 |
| 额定电压 | 220 V |
| 输出功率 S1 100% | 0.6 kW |
| 输出功率 S6 40% | 0.75 kW |
| 输出扭矩 S1 100% | 0.097 N·m |
| 输出扭矩 S6 40% | 0.121 N·m |
| 额定电流 S1 100% | 2.4 A |
| 额定电流 S6 40% | 3 A |
| 气流量 | 80-88 L/min（@160000rpm） |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷却流量 | ≥1.5 L/min |
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